光学素子設備

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LED使用で長寿命、低電力、必要時に直ちに安定照射。クリーンルーム内使用を考慮し、ファンレス化を実現。操作パネルから各接続チャンネルの照射設定値を容易に入力可能。接続チャンネル別の個別照射と全チャンネル一括照射に対応。ヘッドユニットH-1VH 8 式をマルチドライブ(別売、分岐ケーブルが必要)。設置面積を従来機8%削減


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