半導体・液晶・MEMS

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基板上の有機膜を紫外線を照射することにより除去し、レジスト膜の均一な塗布が実現します。
ウェット洗浄と比較した場合水、洗浄剤、廃液処理等の費用発生が無く環境型社会で伸びる企業に最適です。
希望に応じた設計も行います。


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