半導体・液晶・MEMS

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ワークを上下移動する中でブラシ洗浄を行う、枚葉式タイプの洗浄機で設置面積が極めて小さい事が特徴です。
洗浄、リンス、乾燥のプロセスを一台の装置でスピーディーに行います。
ワークに傷をつけずに精密洗浄、少量多品種生産、セミプロダクション、R&Dに最適。
HEPA/ULPAユニット、静電気除去装置、界面活性剤注入装置、ホットエアー乾燥、ホット純水洗浄機能等をオプション設定しています。


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