半導体・液晶・MEMS

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ホーン型高周波ノズルを複数備えることにより大型基板に対応します。
流水に高周波を加えた超精密洗浄ノズルです。流水にメガヘルツの高周波を加えることで、加速された水の粒子がサブミクロンの微粒子を洗浄除去、製造分野の超精密洗浄プロセスを支えます。
各種研磨後洗浄、成膜前洗浄、蒸着前洗浄に最適です。


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