クリーンルーム

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半導体、液晶、ディスクメディアの各業界で使われる真空装置のチャンバー内部に付着したデポを、装置表面へのダメージを最小限にしながら確実にクリーンに清掃ができます。
その結果チャンバー内パーティクルの低減とポンプダウンタイムの短縮が実現します。


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