クリーンルーム

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パーティクルコンタミネーションコントロールは、半導体やTFT、ディスク、表面処理等のファインプロセスにおいて、品質管理面はもちろん生産性やCOO(コスト・オブ・オーナーシップ)にまで影響を及ぼす要因となります。
また、製薬工場のWFIやビバレッジの純水ラインにおけるパーティクル監視、異物混入監視も重要なテーマとなっています。


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