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― パーティクル・金属不純物・コロイダルシリカをどう管理するか？― 半導体製造において、ウエハーの「洗浄」は、製品の性能・歩留まり・信頼性を左右する極めて重要な工程です。 ウエハー表面に残る微粒子や金属...
近年、非球面や自由曲面を高精度かつ効率的に加工するニーズが増えています。高度な光学性能を求められる場面が多くなり、複雑な形状を精密かつ再現性高く仕上げることが重要視されています。 そうした中で注目さ...
