Edge Polishing System

数多くの実績に基づいたシリコンウエハーエッジ研磨のベストセラー機です。

4分割研磨ステーションによる高安定性と高生産性の両立 、省スペース化を実現しています。現在、4in、6in、8in、6/8in兼用機、12inの５機種のラインナップを揃え、お客様の各種要求仕様にもお応えいたします。

また、シリコンをはじめサファイア、SiC、LT等の脆性材料のエッジ研磨にも対応しております。