片面ポリッシングマシン ベースプレートに装着したシリコンウエハー等を、高精度かつ高能率にポリッシングする装置です。 特徴 ワーク種類、サイズに合わせた装置を多数ラインアップ 研磨荷重はデッドウェイト方式、エアー加圧方式が選べます オプションでベースプレートの自動搬出が選択でき、自動化対応の推進も可能