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装置


太陽電池シリコンインゴット研磨機

太陽電池シリコンインゴット研磨機の圧倒的ベストセラー。

単結晶・多結晶シリコンインゴットの平面およびC/R面取り、さらに粗研磨及び仕上研磨を1プロセス、TGP1台で完結。

両面同時加工を行うことで、業界トップの生産性と、自動寸法フィードバック機構による高精度で安定的な高品質加工を実現しています。



特徴

  • 半導体製造装置で培った技術を基に、業界最速・高精度・低CoOを実現
  • ユーザーニーズに合わせた積極的な研究・開発

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