真空リフロー装置
バッチ式、連続式蟻酸真空リフロー装置を取り揃えています。
また、N2真空リフロー装置やバンプ形成用プラズマリフロー装置等もございます。
連続式蟻酸真空リフロー装置
バッチ式蟻酸真空リフロー装置
プラズマリフロー装置
特徴
- 真空中ではんだを溶融させることにより、はんだ内のボイドを除去します。
- 予備加熱を蟻酸や水素還元雰囲気中で行うことにより、フラックスレスはんだ付けを実現します。
- 独自の温度制御能力、真空制御能力により、高品質なはんだ付けの実現が可能です。
- 主にパワーデバイスの製造工程やフリップチップ接合用のバンプの形成に多くの実績がございます。
